Semiconductor

El proceso de fabricación de semiconductores es extremadamente agresivo y requiere la mejor opción de materiales de sellado con la vida útil más larga, así como una menor contaminación para garantizar los niveles de eficiencia y rendimiento más altos posibles.
Europe Seals suministra juntas tóricas y piezas en forma de goma (por ejemplo, sellos de puertas) para diversos productos:

• Cuatros
• Bombas y válvulas
• Manipulación de productos
• Equipos de automatización de procesos

Posibles materiales de sellado para las diferentes etapas del proceso semiconductor:

Preparación de obleas (Cristalogénesis)

• Silicona (alta temperatura)
• Junta tórica encapsulada FEP de silicona
• *Perfluor (Blanco o Negro)
• FPM (Blanco o Negro)
• PTFE

LPCVD y procesos térmicos de oxidación

• Silicona (alta temperatura)
• Junta tórica encapsulada FEP de silicona
• Perfluorina (blanco o negro)
• FPM (Blanco o Negro)
• PTFE

EPI (Silicio épitaxiales)

• Silicona (alta temperatura)
• Junta tórica encapsulada FEP de silicona
• Perfluorina (blanco o negro)
• FPM (Blanco o Negro)
• PTFE

 CVD (Chemical Vapour Deposition)

• Perfluorina (blanco o negro)
• FPM (Blanco o Negro)

 PVD (Physical Vapour Deposition)

• Perfluorina (blanco o negro)
• FPM (Blanco o Negro)

Fotolithographie

• Perfluor Transparente (ver imagen)
• FPM (Blanco o Negro)
• EPDM (peroxídico)

Grabado químico húmedo

• FPM
• Perfluor transparente o negro
• Junta tórica encapsulada FEP ( fpm o silicona)
• PTFE

Grabado por plasma

• Perfluor Blanco o Transparente
• FPM Blanco

Pelar

• Perfluor transparente o negro
• FPM
• Aflas
• EPDM (peroxídico)
• Junta tórica encapsulada FEP ( fpm o silicona)
• PTFE

Ceniza

• Perfluor Blanco o Transparente
• Silicona (MVQ)
• FPM
• Silicona fluor (FMVQ)

Hojas de datos de materiales para descargar (PDF-files)
Perfluor Noir (PDF)
Perfluor White (PDF)
Perfluor Transparent (PDF)

*Nota : Todos nuestros materiales Perfluor son fabricados y empaquetados en salas limpias